Anodic aluminum oxide as hard mask for plasma etching

WO2019240909 Art A1 19. Dezember 2019

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019240909
Aktenzeichen: EP19818753
Anmeldetag: 17. Mai 2019
Veröffentlichung: 19. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311H01L21/3065H01L21/027H01L21/3213H01L21/768H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von