Integrated scanning electron microscopy and optical analysis techniques for advanced process control

WO2019241054 Art A1 19. Dezember 2019

Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019241054
Aktenzeichen: EP19819195
Anmeldetag: 7. Juni 2019
Veröffentlichung: 19. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/66G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-TENCOR CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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