Wafer inspection device and wafer inspection method

WO2019244637 Art A1 26. Dezember 2019

Anmelder: KUBOTA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019244637
Aktenzeichen: EP19822772
Anmeldetag: 5. Juni 2019
Veröffentlichung: 26. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KUBOTA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kubota

Japanisches Unternehmen, gegründet 1890, das Landmaschinen, Traktoren, Baumaschinen sowie Motoren und Rohrsysteme für Wasser- und Abwassertechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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