Vacuum processing apparatus and support shaft

WO2019244790 Art A1 26. Dezember 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019244790
Aktenzeichen: EP19822353
Anmeldetag: 14. Juni 2019
Veröffentlichung: 26. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455H01L21/205H01L21/31H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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