Oxide semiconductor thin film, thin film transistor and method of manufacturing same, and sputtering target

WO2019244945 Art A1 26. Dezember 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019244945
Aktenzeichen
EP19823298
Anmeldetag
19. Juni 2019
Veröffentlichung
26. Dezember 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/786C23C14/08C23C14/34H01L21/363
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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