Correlating sem and optical images for wafer noise nuisance identification

WO2019245830 Art A1 26. Dezember 2019

Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019245830
Aktenzeichen: EP19823741
Anmeldetag: 13. Juni 2019
Veröffentlichung: 26. Dezember 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N21/95G06T7/00H01L21/66G01N23/2251

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: KLA-TENCOR CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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