Distance sensor for measuring a distance to a ferromagnetic element, magnetical levitation system and method for measuring a distance to a ferromagnetic element

WO2020001750 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020001750
Aktenzeichen
EP18739470
Anmeldetag
26. Juni 2018
Veröffentlichung
2. Januar 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G01B7/00G01D5/14B65G54/02C23C14/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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