Component for a vacuum chamber, vacuum chamber, and method of manufacturing a degassing hole

WO2020001775 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020001775
Aktenzeichen: EP18739765
Anmeldetag: 28. Juni 2018
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H01J37/34C23C16/44G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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