Method and apparatus for examining a beam of charged particles

WO2020002344 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020002344
Aktenzeichen: EP19734349
Anmeldetag: 25. Juni 2019
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/21H01J37/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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