Active gas generation device and film formation treatment unit
WO2020003344
Art A1
2. Januar 2020
Anmelder: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS COR 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020003344
- Aktenzeichen
- EP18923864
- Anmeldetag
- 25. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/50H05H1/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS COR
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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