Laser machining device, laser machining system, and laser machining method

WO2020003421 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020003421
Aktenzeichen: EP18923868
Anmeldetag: 27. Juni 2018
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/142

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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