Semiconductor inspection apparatus

WO2020003458 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020003458
Aktenzeichen: EP18924255
Anmeldetag: 28. Juni 2018
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01R31/28G01R31/3183

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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