Extreme uv light generation device, extreme uv light generation method, and method for manufacturing electronic device

WO2020003517 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020003517
Aktenzeichen: EP18923947
Anmeldetag: 29. Juni 2018
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L41/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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