Aluminum alloy target and method for producing same

WO2020003666 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020003666
Aktenzeichen: EP19826797
Anmeldetag: 28. März 2019
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C22C21/00H01L21/203H01L21/28H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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