Aluminum alloy film, method for producing same, and thin film transistor

WO2020003667 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020003667
Aktenzeichen: EP19825256
Anmeldetag: 28. März 2019
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C22C21/00C22F1/04C23C14/14C23C26/00H01L21/28H01L21/285H01L29/423H01L29/49H01L29/786C22F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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