Opening/closing valve and substrate processing device provided with said opening/closing valve

WO2020003795 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020003795
Aktenzeichen: EP19826564
Anmeldetag: 16. Mai 2019
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: F16K31/08F16K31/06H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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