Monitoring dry-etching of polymer layer for transferring semiconductor devices

WO2020005306 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: FACEBOOK TECHNOLOGIES, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020005306
Aktenzeichen: EP18923769
Anmeldetag: 7. August 2018
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/3213H01L21/311H01L27/15H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FACEBOOK TECHNOLOGIES, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Meta Platforms Technologies

US-amerikanische Tochtergesellschaft von Meta Platforms, hervorgegangen aus Oculus. Das Unternehmen entwickelt Hardware und Software für Virtual- und Augmented-Reality-Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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