Five-degree-of-freedom heterodyne grating interferometry system

WO2020007217 Art A1 9. Januar 2020

Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY, BEIJING U-PRECISION TECH CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020007217
Aktenzeichen: EP19830220
Anmeldetag: 26. Juni 2019
Veröffentlichung: 9. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TSINGHUA UNIVERSITY
BEIJING U-PRECISION TECH CO., LTD.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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