Verfahren und Vorrichtung zum Bewerten eines Statistisch Verteilten Messwertes Beim Untersuchen eines Elements eines Photolithographieprozesses

WO2020008021 Art A1 9. Januar 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020008021
Aktenzeichen: EP19737076
Anmeldetag: 5. Juli 2019
Veröffentlichung: 9. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G06N3/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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