Gas abatement apparatus

WO2020008177 Art A1 9. Januar 2020

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020008177
Aktenzeichen
EP19739346
Anmeldetag
1. Juli 2019
Veröffentlichung
9. Januar 2020
Rechtsraum
WO
IPC
F23C6/02F23D23/00F23G7/06F23J15/04F23J15/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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