Dual-Interferometry Sample Thickness Gauge
WO2020010031
Art A1
9. Januar 2020
Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020010031
- Aktenzeichen
- EP19829818
- Anmeldetag
- 2. Juli 2019
- Veröffentlichung
- 9. Januar 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B11/06G01B9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-TENCOR CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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