Extreme Ultraviolet Mask Blank Defect Reduction

WO2020010303 Art A1 9. Januar 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020010303
Aktenzeichen: EP19831213
Anmeldetag: 5. Juli 2019
Veröffentlichung: 9. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F1/22H01L21/027H01L21/311H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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