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WO2020011580 Art A1 16. Januar 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020011580
Aktenzeichen: EP19736642
Anmeldetag: 1. Juli 2019
Veröffentlichung: 16. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/28G06T5/00G06T5/50G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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