Granular polishing material, polishing tool, and polishing method

WO2020012977 Art A1 16. Januar 2020

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020012977
Aktenzeichen
EP19833701
Anmeldetag
27. Juni 2019
Veröffentlichung
16. Januar 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/14B24D3/00B24D3/14B24D11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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