System and method for optimally forming gratings of diffracted optical elements

WO2020013994 Art A1 16. Januar 2020

Anmelder: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020013994
Aktenzeichen: EP19834746
Anmeldetag: 27. Juni 2019
Veröffentlichung: 16. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/44G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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