Method and apparatus for synchronized pressure regulation of separated anode chamber

WO2020014423 Art A1 16. Januar 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020014423
Aktenzeichen: EP19834774
Anmeldetag: 11. Juli 2019
Veröffentlichung: 16. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C25D21/04C25D17/00C25D5/08C25D17/06C25D21/12C25D7/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von