System and method for bare wafer inspection

WO2020016262 Art A1 23. Januar 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020016262
Aktenzeichen: EP19749215
Anmeldetag: 17. Juli 2019
Veröffentlichung: 23. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/12H01L21/68G01N21/95H01J37/21H01L21/66H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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