Block copolymer layer forming composition for forming microphase-separated pattern

WO2020017494 Art A1 23. Januar 2020

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020017494
Aktenzeichen
EP19837686
Anmeldetag
16. Juli 2019
Veröffentlichung
23. Januar 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C08F297/02C08F212/14C08F220/18C08F222/40C08F230/08H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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