Plasma treatment device
WO2020017531
Art A1
23. Januar 2020
Anmelder: NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020017531
- Aktenzeichen
- EP19838056
- Anmeldetag
- 17. Juli 2019
- Veröffentlichung
- 23. Januar 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/46C23C14/54C23C16/455C23C16/509C23C16/52H01L21/205H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissin Electric
Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.
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