Plasma treatment device

WO2020017531 Art A1 23. Januar 2020

Anmelder: NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020017531
Aktenzeichen
EP19838056
Anmeldetag
17. Juli 2019
Veröffentlichung
23. Januar 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/46C23C14/54C23C16/455C23C16/509C23C16/52H01L21/205H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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