Chemical-mechanical polishing composition, chemical-mechanical polishing slurry, and method for polishing substrate

WO2020017894 Art A1 23. Januar 2020

Anmelder: DONGJIN SEMICHEM CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020017894
Aktenzeichen
EP19837935
Anmeldetag
17. Juli 2019
Veröffentlichung
23. Januar 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C09G1/02C09G1/04C09K3/14H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
DONGJIN SEMICHEM CO., LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Dongjin Semichem

Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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