Adapter for image projection system installation in photolithography system

WO2020018153 Art A1 23. Januar 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020018153
Aktenzeichen: EP19838875
Anmeldetag: 26. März 2019
Veröffentlichung: 23. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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