Multimode Defect Classification in Semiconductor Inspection

WO2020018856 Art A1 23. Januar 2020

Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020018856
Aktenzeichen
EP19837641
Anmeldetag
19. Juli 2019
Veröffentlichung
23. Januar 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/95G01N21/88H01L21/66G06T7/00H01L21/67G01N21/89
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-TENCOR CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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