Substrate positioning device with remote temperature sensor

WO2020020564 Art A1 30. Januar 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020020564
Aktenzeichen: EP19733785
Anmeldetag: 27. Juni 2019
Veröffentlichung: 30. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20G01K11/12H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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