Phase revealing optical and x-ray semiconductor metrology

WO2020023810 Art A1 30. Januar 2020

Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020023810
Aktenzeichen: EP19840372
Anmeldetag: 26. Juli 2019
Veröffentlichung: 30. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/67G01N21/47G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-TENCOR CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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