An evaporation source to deposit evaporated source materials, a method of shielding evaporated source materials and a shielding device for an evaporation source

WO2020025145 Art A1 6. Februar 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020025145
Aktenzeichen: EP18752443
Anmeldetag: 3. August 2018
Veröffentlichung: 6. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00C23C14/12C23C14/24C23C16/04C23C16/44H01L21/67H01L51/00C23C14/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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