Semiconductor inspection apparatus and probe unit

WO2020026293 Art A1 6. Februar 2020

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020026293
Aktenzeichen: EP18928313
Anmeldetag: 30. Juli 2018
Veröffentlichung: 6. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01R31/26G01R1/073G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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