Laser energy measuring device, and laser energy measuring method

WO2020026600 Art A1 6. Februar 2020

Anmelder: V TECHNOLOGY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020026600
Aktenzeichen: EP19844601
Anmeldetag: 12. Juni 2019
Veröffentlichung: 6. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/02G01J4/04H01L21/20H01L21/268H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: V TECHNOLOGY CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

349 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von