Rf tuning systems including tuning circuits having impedances for setting and adjusting parameters of electrodes in electrostatic chucks

WO2020028347 Art A1 6. Februar 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020028347
Aktenzeichen: EP19843783
Anmeldetag: 30. Juli 2019
Veröffentlichung: 6. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H03H7/40C23C16/458C23C16/509

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von