Determining Tilt Angle in Patterned Arrays Of High Aspect Ratio Structures

WO2020028412 Art A1 6. Februar 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, GOVERNMENT OF THE UNITED STATES OF AMERICA, AS REP 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020028412
Aktenzeichen: EP19845108
Anmeldetag: 30. Juli 2019
Veröffentlichung: 6. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/67G03F7/20G01N23/04G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: LAM RESEARCH CORPORATION
GOVERNMENT OF THE UNITED STATES OF AMERICA, AS REP
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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