Fluid control device, abnormality detection method of fluid control device, abnormality detection device, and abnormality detection system

WO2020031628 Art A1 13. Februar 2020

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020031628
Aktenzeichen: EP19848709
Anmeldetag: 16. Juli 2019
Veröffentlichung: 13. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01M3/26F16K37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von