Metrology apparatus and photonic crystal fiber

WO2020035201 Art A1 20. Februar 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020035201
Aktenzeichen: EP19734330
Anmeldetag: 24. Juni 2019
Veröffentlichung: 20. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/47G01N21/956F21V8/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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