Method for evaluating sic single crystal and method for producing sic wafer

WO2020036166 Art A1 20. Februar 2020

Anmelder: SHOWA DENKO K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020036166
Aktenzeichen: EP19849377
Anmeldetag: 13. August 2019
Veröffentlichung: 20. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/36G01N23/20G01N23/2055G01N23/207H01L21/203

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHOWA DENKO K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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