Stress reduced diaphragm for a micro-electro-mechanical system sensor

WO2020037198 Art A1 20. Februar 2020

Anmelder: INVENSENSE, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020037198
Aktenzeichen
EP19762877
Anmeldetag
16. August 2019
Veröffentlichung
20. Februar 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G01L9/00G01L19/06H04R19/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
INVENSENSE, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 InvenSense

InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.

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