System for producing washing water for electronic components, and operating method for system for producing washing water for electronic components

WO2020039764 Art A1 27. Februar 2020

Anmelder: KURITA WATER INDUSTRIES LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020039764
Aktenzeichen: EP19852058
Anmeldetag: 4. Juli 2019
Veröffentlichung: 27. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304C02F1/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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