Method for forming pattern, and radiation-sensitive composition
WO2020040092
Art A1
27. Februar 2020
Anmelder: JSR CORPORATION, CORNELL UNIVERSITY 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020040092
- Aktenzeichen
- EP19851347
- Anmeldetag
- 19. August 2019
- Veröffentlichung
- 27. Februar 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/004
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JSR CORPORATION
CORNELL UNIVERSITY - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JSR Corporation
JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.
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🇺🇸
Cornell University
Die Cornell University ist eine private Universität in Ithaca, New York (USA), die in Forschung und Lehre über zahlreiche natur- und ingenieurwissenschaftliche Fachrichtungen aktiv ist.
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