Method for forming pattern, and radiation-sensitive composition

WO2020040092 Art A1 27. Februar 2020

Anmelder: JSR CORPORATION, CORNELL UNIVERSITY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020040092
Aktenzeichen
EP19851347
Anmeldetag
19. August 2019
Veröffentlichung
27. Februar 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JSR CORPORATION
CORNELL UNIVERSITY
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Die Cornell University ist eine private Universität in Ithaca, New York (USA), die in Forschung und Lehre über zahlreiche natur- und ingenieurwissenschaftliche Fachrichtungen aktiv ist.

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