Light emission device, light emission method, exposure device and device manufacturing method

WO2020040132 Art A1 27. Februar 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020040132
Aktenzeichen: EP19851812
Anmeldetag: 20. August 2019
Veröffentlichung: 27. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01S5/183G03F7/20H01J37/06H01J37/305H01L21/027H01L33/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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