Atomic precision control of wafer-scale two-dimensional materials

WO2020041650 Art A1 27. Februar 2020

Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020041650
Aktenzeichen: EP19850957
Anmeldetag: 23. August 2019
Veröffentlichung: 27. Februar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/16B32B43/00C23C16/52H01L21/20H01L21/203H01L29/772

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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