Apparatus for transportation of a first carrier and a second carrier, processing system for vertically processing a substrate, and methods therefor

WO2020043277 Art A1 5. März 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020043277
Aktenzeichen: EP18765397
Anmeldetag: 29. August 2018
Veröffentlichung: 5. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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