Electromagnetic actuator, position control system and lithographic apparatus

WO2020043401 Art A1 5. März 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020043401
Aktenzeichen: EP19744707
Anmeldetag: 25. Juli 2019
Veröffentlichung: 5. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/035G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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