Gas supply determination method and plasma generation device

WO2020044427 Art A1 5. März 2020

Anmelder: FUJI CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020044427
Aktenzeichen
EP18931985
Anmeldetag
28. August 2018
Veröffentlichung
5. März 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/26G01F1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJI CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fuji Machine Mfg.

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chiryu, das Bestückungsautomaten und Fertigungssysteme für die Elektronikindustrie herstellt.

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